近日,世界半导体大会暨第十七届中国半导体市场年会在南京国际博览中心举办,大连华邦依靠自主创新生产的9N级气体纯化器,采用全新工艺制备技术路径,达到国际同类顶级纯化器水平,因而获此殊荣。
高纯度氮气、氢气、氧气、氩气等气体是超大规模集成电路、平面显示器和半导体器件等电子工业生产必不可少的原材料,而这些高纯度电子气体制备的关键设备——气体纯化器,生产难度大、生产环境要求苛刻、设备运行稳定性要求高,目前世界上只有少数几个国家能生产。
大连华邦团队的骨干成员从事气体纯化研究20余年,目睹了国内半导体行业气体纯化设备领域的困境,决心改变这一现状。2013年,大连华邦组建了6个人的创业团队,并成立大连华邦化学有限公司,从事超纯气体纯化技术、催化剂等产品的研发,矢志研发出中国人自己的9N级气体纯化器。